O sistema de suprimento de pasta de polimento inclui os seguintes componentes:
- Um balde de suprimento de pasta de polimento (capacidade líquida de 60L) com sensor de nível
- Um sistema de mistura
- Um sistema de suprimento (incluindo bomba de suprimento e filtro) com taxa de fluxo de 5 a 12 litros/min
- Um sistema de troca de calor de barril com plc - regulação de temperatura controlada (20-50 graus, ± 1 grau de precisão)
- Um sistema elétrico com o programa PLC e a interface Profinet (via acoplador PN/PN)
- Um conjunto de filtros de pasta de polimento reciclado
- Um dispositivo de recuperação de polimento de polimento
- Uma bomba de recuperação
- Detectores mínimos de dois níveis (para controle da bomba e alarmes anormais)
- Dual - função Bin (reciclagem e seções de classificação direta) com controle de fluxo
Parâmetros do produto
1. Fluxo de produção:
Composição → Mixagem → Fornecimento
2. Materiais de malha:
Estrutura de metal com placas de casca PP
Bomba pneumática em PVDF
Tubulação de PFA
3. Recursos especiais:
Equilíbrio de pH
Controle termostático
Recursos e aplicações do produto
O sistema fornece pasta de polimento mecânico químico para a fabricação de wafer de SiC.
Detalhes do produto
Usa materiais importados e tubos de bobina de resfriamento PFA
Controle rigoroso de limpeza durante a montagem
Fabricado no ambiente da sala de limpeza da classe 10.000
Impede a contaminação de partículas e metal
Cenários de aplicação
◇ Em abril de 2025, o sistema de suprimento de pasta de polimento foi vendido a mais de 100 clientes finais para a produção de wafer da SIC.
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